Российские учёные снизили шероховатость алмазных плёнок в 13 раз

11 ноября 2026, 16:03 · Nauka

Российские исследователи разработали способ выращивать толстые алмазные плёнки с заданной шероховатостью. Как сообщает ТАСС со ссылкой на Российский научный фонд, в экспериментах шероховатость удалось снизить в 13 раз без механической обработки.

Алмаз хорошо проводит тепло и пропускает свет. Эти свойства позволяют использовать его в системах охлаждения миниатюрной электроники и в оптических приборах, чувствительных к перегреву. Для таких применений нужно контролировать состояние поверхности плёнки.

Метод создали специалисты Института общей физики РАН, Института радиотехники и электроники РАН и МИРЭА. Они применили микроволновое плазмохимическое осаждение, чтобы управлять как гладкостью покрытия, так и его тепловыми, электрическими и оптическими свойствами.

В реакторе микроволновое излучение превращает смесь метана и водорода в плазму. При её взаимодействии с подложкой растут кристаллы алмаза. Периодическое добавление небольших порций азота позволяет контролировать их формирование и размер.

После нескольких циклов осаждения образуется гладкое покрытие из слоёв наноалмазов. Старший научный сотрудник Института общей физики РАН Артём Мартьянов пояснил, что метод снижает потребность в полировке, а для некоторых применений позволяет обойтись без неё.