Новый метод SAQP поможет снизить количество нанометров и при этом новое оборудование не понадобится.
Китайские компании Huawei и SiCarrier активно разрабатывают технологию self-aligned quadruple patterning (SAQP), которая может помочь производить 5-нм чипы с помощью старых инструментов, передает Вloomberg.
Компания Huawei Technologies Co. и один из ее партнеров по производству процессоров, SiCarrier, подали патенты на низкотехнологичный, но потенциально эффективный способ изготовления передовых полупроводников. Это говорит о том, что у Китая появится возможность улучшить методы производства чипов, несмотря на попытки США остановить технологический прогресс КНР.
Согласно патентным заявкам, поданным в китайский орган интеллектуальной собственности, речь идет о технологии под названием self-aligned quadruple patterning — самовыравнивающийся четырехкратный рисунок (SAQP), — которая подразумевает обработку заготовок в четыре прохода. Данный метод даст возможность перейти к более тонким техпроцессам с тем, чтобы сократить количество нанометров до 5-ти.
SAQP также потенциально может позволить производить современные чипы без использования современного оборудования для литографии в крайнем ультрафиолете от голландской компании ASML Holding NV. Издание напоминает, что ASML — единственный поставщик машин EUV в мире, и она не имеет права продавать их в Китай из-за санкций США и Нидерландов.
Эксперты из аналитической компании TechInsights заявили, что новая технология действительно может сработать, и КНР получит собственные 5-нанометровые процессоры, однако они подчеркнули, что без EUV-машин Китай все равно не сможет обойтись.
